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六氟乙烷

中文名稱:六氟乙烷
英文名稱:hexafluoroethane

六氟乙烷安全技術說明
一、產品介紹
                                中文名稱:六氟乙烷                             英文名稱:hexafluoroethane
                                化學式:C2F6                                       CAS號:76-16-4
                                熔點(℃): -101                               沸點(℃): -78
                                亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物,是一種不易燃的氣體,難溶于水,微溶于醇。
二、主要用途
             可用于一種具多功能的蝕刻技術,常見于半導體之生產。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外,它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。
          作制冷劑方面:六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)
三、技術指標

縱特化工產品質量指標
項目名稱 質量指標
六氟乙烷(C2F6).ppmv                    ≥ 99.999%
氧氣(O2).ppmv                          ≤ 2.0
氮氣(N2).ppmv                         ≤ 8.0
二氧化碳(CO2).ppmv                      ≤ 0.5
一氧化碳(CO).ppmv                       ≤ 0.5
水份(H2O).ppmv                          ≤ 1.0
酸度(以HF計).ppmv                    ≤ 0.1
其它有機物.ppmv                      ≤ 1.5
鋼瓶包裝 容積 凈重
44L 40kg
鋼瓶閥門 CGA660/DISS716
 
 
 


  四、運輸信息
                           危險貨物編號: 22034            UN編號: 2193
                           包裝類別: O53                  包裝方法: 鋼質氣瓶。
              運輸注意事項: 采用剛瓶運輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放,并應將瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超過車輛的防護欄板,并用三角木墊卡牢,防止滾動。嚴禁與氧化劑等混裝混運。夏季應早晚運輸,防止日光曝曬。                     鐵路運輸時要禁止溜放。
 五、泄漏處理
                   應急處理: 迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。如有可能,將漏氣的容器移至空曠處,注意通風。漏氣容器要妥善處理,修                      復、檢驗后再用。
 六、儲存注意
             儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。應與氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。
  
  
 
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